Institut des
NanoSciences de Paris
NanoSciences de Paris
Equipement de la salle blanche
Tout le matériel nécessaire aux manipulations de base est présent sur place. De l’eau ultra-pure, ainsi que de nombreux acides, bases, solvants, résines, substrats et autres consommables sont disponibles. Cependant, pour toutes demandes particulières, merci de prendre contact auprès des responsables de la salle blanche.
Les principaux outils à disposition des utilisateurs sont les suivants :
- Equipements de dépôt
- 2 bâtis d’évaporation par effet Joule (Edwards Auto 306 et Vinci PVD-4E)
- 2 pulvérisateurs multi-cibles cathodiques magnétron (Alcatel)
- Sputtering (Biorad SC500)
- Equipements de lithographie
- 2 spin coater (Polos Spin 150 i)
- Photolithographie à écriture directe par laser UV (DWL 66FS Heidelberg)
- 2 aligneurs de masques (MJB4 et MJB3 - Karl Süss)
- Système de lithographie électronique (Raith Elphy Quantum)
- Equipements de caractérisation
- MEB (Zeiss Supra 40) + Detecteur EDS (EDS Compact 30mm Brucker)
- Microscope optique (Olympus BX51)
- Profilomètre mécanique (Dektak 150 Veeco)
- Equipements divers
- 3 hottes de chimie pour gravures humides et manipulations diverses
- Micro Diamond Scriber (OEG MR100)
- four de recuit/oxydation (Carbolite BGHA12/300A)
- Plasma cleaner (Harrick Plasma PDC-002)
