Tout le matériel nécessaire aux manipulations de base est présent sur place. De l’eau ultra-pure, ainsi que de nombreux acides, bases, solvants, résines, substrats et autres consommables sont disponibles. Cependant, pour toutes demandes particulières, merci de prendre contact auprès des responsables de la salle blanche.
Les principaux outils à disposition des utilisateurs sont les suivants :
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- 2 bâtis d’évaporation par effet Joule (Edwards Auto 306 et Vinci PVD-4E) - 2 pulvérisateurs multi-cibles cathodiques magnétron (Alcatel) - Sputtering (Biorad SC500) |
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- MEB (Zeiss Supra 40) + Detecteur EDS (EDS Compact 30mm Brucker) - Microscope optique (Olympus BX51) - Profilomètre mécanique (Dektak 150 Veeco) |
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- 3 hottes de chimie pour gravures humides et manipulations diverses - Micro Diamond Scriber (OEG MR100) - four de recuit/oxydation (Carbolite BGHA12/300A) - Plasma cleaner (Harrick Plasma PDC-002) |