Octobre 2021
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Erwan Dandeu
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Claire Abadie
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Erwan Dandeu
(4 Ebeam + 1 night eabeam)
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Claire Abadie
(litho nFPC)
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Erwan Dandeu
(4 ebeam + 1ebeam night)
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Claire Abadie
(SEM + litho nFPC)
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Erwan Dandeu
(ebeam)
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Mathieu Nicolas
(Lithographie nuit)
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Mathieu Nicolas
(Lithographie Jour (idem))
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Erwan Dandeu
(ebeam)
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Mathieu Nicolas
(Imagerie)
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Claire Abadie
(Imagerie)
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Mathieu Nicolas
(Lithographie Nuit)
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Claire Abadie
(Litho élec)
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Erwan Dandeu
15:00~16:00
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Claire Abadie
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Lingfei Cui
(litho)
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Ouverture Salle Blanche
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Microscope optique
Ouverture Salle Blanche
09:00~09:30
Profilomètre Dektak XTE
Ouverture Salle Blanche
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Ouverture Salle Blanche
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MEB
Dominique Demaille
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MEB
Fermeture Salle Blanche
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Microscope optique
Fermeture Salle Blanche
17:30~18:00
Profilomètre Dektak XTE
Fermeture Salle Blanche
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Fermeture Salle Blanche
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MEB
Ouverture Salle Blanche
09:00~09:30
Microscope optique
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Profilomètre Dektak XTE
Ouverture Salle Blanche
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Ouverture Salle Blanche
10:00~12:00
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Lingfei Cui
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